Повнотекстовий пошук
Пошуковий запит: (<.>A=Odinokov V$<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
1. |
Odinokov V. V. Small-scale Vacuum System for Deposition of Multilayer Metallic Films "MVU TM – Magna 3M” [Електронний ресурс] / V. V. Odinokov, G. Ya. Pavlov, V. V. Panin, V. P. Raschinsky, A. N. Shpakov, A. V. Shubnikov // Журнал нано- та електронної фізики. - 2014. - Т. 6, № 3. - С. 03015-1-03015-2. - Режим доступу: http://nbuv.gov.ua/UJRN/jnef_2014_6_3_17 A new small-scale vacuum system "MVU TM-Magna 3M" developed at JSC "Research Institute of Precision Machine Manufacturing" is described. Its assembly and working conditions are considered. This system was used for magnetron sputtering multilayer metallic films.
|
|
|